这种直通的内联溅射成膜系统是玻璃基板的设计和建造。

该设备使用多个矩形阴极,使结合钱伯斯(形成室、加热室、冷却室,等等)是任意选择的根据目标流程和生产数量。
与大型基质均匀膜厚度分布交付,从而确保稳定的大规模生产加工。