STM2323是单个晶圆溅射系统适用于超高真空。 它提供了10的排气性能7Pa背景压力溅射室。^-7 他系统是由一个负载制动室、盒式室,传输室和溅射室(总共6室),从而使形成的多种类型的电影和超高真空下处理。 这个系统是开发磁性设备和化合物特别有效。