溅射系统的R & D 产品概述 设备规格(负载锁类型)设备规格(批处理类型) 硬件是紧凑,适合实验和基础研究。以低成本系统确保高可靠性。 SRV 模型:SRV4320 设备规格(负载锁类型) 设备规格(批处理类型) 相关产品 内联气相沉积系统 批处理类型溅射系统 内联溅射系统 卧式气相沉积系统 等离子体CVD系统 查看更多