卧式气相沉积系统
该系统适用于生产小型电子元件(电阻和晶体振荡器电极边缘形成过程,等等)。
大量的工件可以处理的小室。 可以同时进行成膜基质表面。
模型:AAMH-C1075SB
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该系统适用于生产小型电子元件(电阻和晶体振荡器电极边缘形成过程,等等)。
大量的工件可以处理的小室。 可以同时进行成膜基质表面。
模型:AAMH-C1075SB卧式气相沉积系统
