等离子体清洗单元, POEM
诗是一种等离子体表面清洗单元与平行板RIE等离子体系统,使衬底表面处理(清洗、还原、氧化等)。
改变过程模式和过程气体扩展了应用范围。
两个模型都可以根据底物大小:大型衬底(450×450毫米)和小型衬底(250×250毫米)。
等离子体清洗单元, POEM (特性)
- 尽管其紧凑的身体,这个单位可以处理大面积(至少8英寸)。
- 这个单位是有效进行亲水性处理之前安装和有机薄膜/氧化膜去除。
- 这个单位还可用于树脂衬底表面处理。
过程模式选择
软硬模式可以选择。 困难模式提供了出色的处理效率,而软基质模式进一步最小化潜在的损害。
表面处理机制
